一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。适用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等行业
适用气体:燃爆毒腐蚀危险性气体
设备基础配置参数:
l 防爆玻璃观察窗、防爆自锁门、防爆电控箱
l 自动远程切断
l 7寸彩色中文人机界面,实现人气分离全自动触摸屏操作
l 预留扩充点
l 泄露报警、负压报警
l 尾气排放功能
可选配置:
l 面板加热
l 管道伴热
配置 UV/IR,喷淋头,高温,烟感应